用藍膜或UV膜(mó)將晶圓與(yǔ)FRAME固定在(zài)一起(qǐ)的設備。
半主動(dòng)晶圓貼膜機由CHUCK TABLE , MOUNTING , FRAME CUTTER , WIND&REWIND,COVER , ELECTRICAL CONTROL SYSTEM等幾.
部分(fèn)組成。設(shè)備有以下幾個特點:
一、直線切開(kāi)刀位置能夠依據不同的FRAME進行(háng)主動改換(huàn),這樣能夠有效的省膜。每次直線切(qiē)開(kāi)後,後麵的膜由真空吸盤,吸起。
二、WAFER CHUCK與FRAME CHUCK是分離(lí)式的。WAFER CHUCK能夠上下調理,這樣能夠合理地處理不同厚度的WAFER,全(quán)體的CHUCKTABLE還有浮動,這樣(yàng)貼膜時分,對WAFER有維護作用.

三、貼膜組織中,MOUNTING滾輪是 用汽缸來操控的,對汽缸力的大小能夠人為進行調理,這樣貼膜力(lì)的大小,能夠依據客戶產品要求(qiú)確認(rèn).
四、機器上氣動元件采(cǎi)用SMC或KOGANEL品牌.保(bǎo)證其質量(liàng)及(jí)使用壽命.機(jī)器上機械方麵的外購件以優質品(pǐn)牌知名產品為主
五、旋轉切開刀(dāo)在6.8寸轉換時,方便另外切開易於操作(zuò),同時切開安穩(wěn).
六. 上料組織(zhī)中,膜(mó)的裝入與卸下,比較方便,隻要(yào)旋幾下張緊(jǐn)旋扭,便能夠實現上下料的操作同時料桶上有刻線,便於膜裝入後(hòu),位置的確認.
七、本設備是TABLE移動,產(chǎn)品放上TABLE後, TABLE在伺(sì)服(fú)馬達的驅動下移進到作業位置後,貼膜(mó)滾輪(lún)將膜壓下(xià)(壓到FRAME上(shàng)) , TABLE再移動出來,這樣膜(mó)主動(dòng)被貼在產品上。
八、台灣ELT科技是(shì)全球先進製(zhì)程設備製造商,其中(zhōng)矽片真空壓膜機晶圓貼膜機是8寸/12寸晶圓貼合專用設備,填充率高,無氣泡,高深寬比,全主動調理溫度壓(yā)力,是晶(jīng)片製程(chéng)後(hòu)期的高端設備。
產品特色加熱/真空和壓力層壓,高填充率,8 "/ 12”使(shǐ)用(yòng),內部主動切開係統,TTV可操控在2um之內,均勻度> 98%
產品應用(yòng)
Flip Chip、FOWLP、3DIC..
適用於不平整(zhěng)的表麵描摹
PR / PI薄膜
BG / DAF或NCF
掃描手機(jī)站
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